arthur 发表于 2012-8-4 13:32:24

蔚华UF200 Prober使用培训材料-中文pdf

T2 Internal Engineer Prober basic Training Manual 中文版

来自蔚华科技 SPIROX




內容
1.Prober 外觀介紹                                                        2
z  外部名稱介紹                                                        2  
z  細部介紹                                                             3
2. New device set up(3hr)                                                  12
z  如何量測 Index size                                                
z  如何圈選 Reference pattern                                           14
z  如何圈選 Needle alignment pad                                        15
z  如何試打針痕                                                      17
z  如何建立測試圖形                                                  18
z  如何建立墨點                                                   
3.Operation  參數設定 (6hr)                                                20
z  Wafer ID設定                                                        20
z  Lot management 設定                                                 26  
z  Map output/input 設定                                                 29  
z  Multi-pass 參數設定                                                  37
z  Map pass/Fail 參數設定                                                46
z  Needle Clean 參數設定                                                49
z  Yield Check 參數設定                                                 52
z  Continuos Fail 參數設定                                               54
z  Miscellaneous 參數設定                                               56
4.Utility 參數設定(3hr)                                                   57
z  Wafer Handling 參數設定                                              57
z  System Login Data 參數設定                                           59
z  Make User’s File  參數設定                                             62
z  Printer Utility 參數設定                                                65
z  Parameter Mask Utility 參數設定                                        66
5.Maintence 應用 (27hr)                                                  67
z  Camera system Calibration(12hr)                                         67
z  Chuck Level Calibration(3hr)                                            82
z  Clean Pad level Calibration (2hr)                                         85
z  Head stage Level Calibration(2hr)                                        88
z  PM process(4hr)                                                      90
z  Hinge of category & adjustment(2hr)
z  Installation process (2hr)




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