ict 发表于 2012-7-28 17:59:35

VTT V7100 手册

手上的VTT V7100 完整版参考手册

没有玩过VTT的机器, 不怎么看得懂，分享出来给大家。






1. parallel measurement

2. pin card

3. Operation

4. interface

5. pattern

6. maintenance

7. command

8. wafermap

9. hardware

10.library
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